工況適配與價值落地：NeoDry系列干式真空泵多行業客戶實踐案例

在工業生產與科研實驗的核心環節，真空設備的適配性直接影響工藝穩定性、運營成本及環保效益。Kashiyama樫山工業NeoDry系列干式真空泵憑借無油潔凈、能耗可控、維護便捷的特性，已在半導體、化工、制藥等多個領域落地應用。以下結合三家不同行業客戶的實際使用場景，拆解設備選型邏輯、工況適配過程及應用成效，通過真實實踐展現NeoDry系列如何貼合行業需求，解決實際生產痛點。

案例一：半導體晶圓加工廠——低振低噪賦能精密鍍膜工序

某半導體晶圓加工廠專注于8英寸、12英寸晶圓的鍍膜、刻蝕等精密加工，其鍍膜工序對真空環境的穩定性、潔凈度及周邊環境干擾控制要求高。此前，該廠鍍膜車間采用傳統油式真空泵，運行中不僅存在油蒸氣污染風險，影響晶圓鍍膜均勻性，且設備振動與噪聲較大，對周邊精密儀器運行造成干擾，同時維護頻次較高，頻繁停機影響生產連續性。

為解決上述問題，該廠結合鍍膜工序工況需求，對多款干式真空泵進行測試對比，最終選定NeoDry系列G+分支的36G+型號。選型核心考量圍繞三大需求：一是無油潔凈設計，避免油蒸氣污染晶圓表面，保障鍍膜質量；二是低振動、低噪聲特性，減少對精密工序及周邊設備的干擾；三是長維護周期，適配車間24小時連續生產的節奏。

36G+在該車間鍍膜工序的應用，首先解決了污染痛點。其無油式結構無需油類潤滑介質，從源頭杜絕油蒸氣進入真空系統，配合前置過濾裝置，有效避免雜質附著在晶圓表面。經過三個月試運行，鍍膜工序的不良率較此前下降，晶圓表面涂層均勻性顯著提升，后續清洗工序的工作量也相應減少。

在運行穩定性方面，36G+展現出適配優勢。該型號優化了轉子間隙控制，進氣口全閉運行時噪音控制在49dB(A)以下，振動值≤7μm p-p，接近正常交談音量，運行時不會對周邊精密檢測儀器造成干擾。車間技術人員反饋，設備運行期間，鍍膜工藝參數波動幅度縮小，無需頻繁調整工藝參數即可維持穩定生產，操作難度降低。

能耗與維護成本的優化也成為明顯成效。36G+采用優化后的變頻電機，結合智能負載調節算法，可根據鍍膜工序的真空度需求自動調整轉速，極限壓力工況下功耗降至0.5kW，相比傳統油式真空泵及舊款干式真空泵，能耗降低9%以上。同時，轉子表面升級的耐磨耐腐蝕涂層延長了部件使用壽命，維護間隔延長至18000小時，較此前設備維護頻次減少，每年可減少因停機維護造成的生產損失，綜合運營成本顯著下降。

目前，該晶圓加工廠已在3條鍍膜生產線完成36G+的替換升級，設備平均連續運行時長超過8000小時，未出現重大故障。車間負責人表示，設備的穩定表現不僅保障了精密工藝的順利開展，也為后續生產線的升級改造提供了參考方向。

案例二：精細化工企業——高效處理溶劑回收工況的環保轉型

某精細化工企業主要從事醫藥中間體、染料原料的生產，溶劑回收工序是生產環節的核心組成部分，需對反應過程中產生的乙醇、丙酮等揮發性溶劑進行回收再利用，既降低物料損耗，又減少環保壓力。此前，該企業采用傳統水環真空泵處理溶劑回收工況，存在三大突出問題：一是需持續消耗大量循環水，水資源浪費嚴重，且產生的廢水需額外處理，環保成本較高；二是水蒸氣處理能力不足，水汽在泵內凝結導致部件損耗加快，維護頻繁；三是能耗偏高，長期連續運行下能源支出壓力較大。

結合雙碳目標及企業環保轉型需求，該企業啟動真空設備升級計劃，針對溶劑回收工序的高水分、輕度腐蝕性介質特性，選定NeoDry系列G+分支的60G+型號，并搭配定制化前置過濾器與耐腐蝕配件。60G+的選型適配邏輯的是貼合化工工況的核心需求：一是空冷式設計無需循環水，從源頭減少水資源消耗與廢水產生；二是升級的氮氣氣鎮機構提升水蒸氣處理能力，適配高水分工況；三是優化的能耗控制與耐腐蝕設計，兼顧運行成本與設備壽命。

設備投入使用后，首先實現環保效益的提升。60G+采用空冷系統替代傳統水環泵的水循環冷卻，無需額外配置冷卻水管道與循環設備，每年可減少水資源消耗近萬噸，同時徹杜絕因水循環產生的廢水，降低企業環保處理成本。此外，無油設計避免了油類與溶劑混合造成的二次污染，溶劑回收率較此前提升，物料損耗減少，既節約成本又降低揮發性有機物排放。

在工況適配性方面，60G+的氣體處理能力滿足溶劑回收需求。其啟用氣鎮機構后水蒸氣處理量提升至650g/h，能快速排出蒸餾過程中產生的大量水汽，避免凝結物附著在泵體內部導致部件損耗，同時減少因介質處理不及時造成的停機。針對溶劑中含有的輕度腐蝕性成分，轉子表面的耐磨耐腐蝕涂層發揮作用，有效抵御介質侵蝕，設備運行穩定性提升，部件更換頻次減少。

能耗優化成效同樣顯著。60G+通過變頻電機與智能負載調節，根據溶劑回收工序的真空度波動自動調整運行轉速，較傳統水環真空泵能耗降低15%以上，按每年連續運行8000小時計算，可減少可觀的電費支出。同時，設備維護間隔延長，維護流程簡化，無需專業人員即可完成基礎檢查與濾芯更換，進一步降低了運維成本。

經過近一年的運行，該企業溶劑回收工序的綜合成本較此前下降，環保達標率提升，60G+的穩定表現為其后續其他生產環節的設備升級提供了依據，目前已計劃新增2臺60G+用于擴建生產線。

案例三：生物醫藥實驗室——緊湊型設計適配狹小空間實驗需求

某高校生物醫藥實驗室專注于抗腫瘤藥物、生物制劑的研發，實驗過程中涉及樣品真空干燥、低溫凍干、質譜分析等多個需真空環境的環節。實驗室空間有限，實驗臺布局緊湊，且對設備噪聲、運行穩定性及操作便捷性有較高要求。此前，實驗室使用的小型真空泵存在體積偏大、噪聲較高、維護繁瑣等問題，難以適配短時、高頻次的實驗需求，且偶爾出現真空度不穩定的情況，影響實驗數據準確性。

為優化實驗條件，提升研發效率，實驗室結合自身場景特點，篩選了多款小型干式真空泵，最終選定NeoDry系列E-Mini分支的7E-Mini與15E-Mini兩款型號，分別用于基礎樣品處理與高精度實驗配套。選型核心聚焦空間適配、噪聲控制、操作便捷性三大維度，同時兼顧實驗所需的真空性能。

E-Mini系列的緊湊型設計適配實驗室空間限制。7E-Mini外形尺寸僅為280mm×220mm×200mm，重量僅8kg，較傳統小型真空泵體積減小20%、重量減輕15%，可直接放置在實驗臺角落或嵌入實驗裝置內部，不占用過多空間，有效優化了實驗臺布局。15E-Mini則搭配小型實驗凍干機使用，緊湊的機身設計便于與凍干設備集成，實現一體化運行。

低噪聲特性顯著改善了實驗室環境。7E-Mini運行噪聲控制在56dB(A)以內，15E-Mini噪聲值略高但不超過60dB(A)，均不會對實驗人員交流及周邊精密儀器運行造成干擾，解決了此前設備噪聲過大影響實驗開展的問題。實驗人員反饋，設備運行時幾乎無明顯異響，即使在密閉實驗室長時間運行，也不會產生不適。

操作便捷性與運行穩定性滿足研發需求。E-Mini系列簡化了拆卸流程，進氣過濾器采用快拆設計，實驗人員無需專業工具即可完成清潔與更換，適配高頻次實驗后的快速維護需求。機身配備的運行狀態指示燈能實時反饋設備工作情況，便于及時發現異常。在真空性能方面，7E-Mini抽氣速率維持110L/min，極限壓力5.0Pa，可滿足常規樣品干燥、基礎真空實驗等需求；15E-Mini抽氣速率250L/min，極限壓力1.0Pa，搭配凍干機使用時，能快速構建穩定真空環境，保障實驗數據的一致性。

此外，E-Mini系列的空冷系統無需額外配置冷卻設備，在實驗室無專用冷卻水接口的情況下也能正常運行，進一步提升了設備的場景適配能力。目前，兩款型號已在實驗室穩定運行近一年，適配樣品處理、凍干實驗、質譜分析等多個環節，未出現因設備故障影響實驗進度的情況，成為研發工作的可靠配套設備。

案例共性啟示：適配需求是核心價值導向

上述三個不同行業的客戶案例，展現了NeoDry系列干式真空泵在不同工況下的適配能力，其核心價值并非依賴參數疊加，而是通過精準匹配行業需求，解決實際生產與研發中的痛點。從半導體行業的精密性需求，到化工行業的環保與高效需求，再到實驗室場景的空間與便捷性需求，NeoDry系列均通過針對性的結構設計、性能優化，實現與工況的深度適配。

從客戶反饋來看，無油潔凈、能耗可控、維護便捷是三大核心優勢。無油設計避免了污染風險，適配對潔凈度有要求的場景；能耗優化與空冷設計契合綠色生產趨勢，幫助企業降低長期運營成本；長維護周期與簡化的維護流程，減少了停機損失，提升了生產與研發的連續性。這些特性既貼合當前工業領域的發展趨勢，也為不同規模、不同行業的客戶提供了靈活的真空解決方案。

值得注意的是，NeoDry系列的適配能力并非單一型號的全表現，而是通過E、G、G+、E-Mini等多分支、多型號的產品矩陣，覆蓋不同細分場景需求。同時，部件通用性與定制化配件選擇，進一步提升了設備的適配靈活性，減少客戶更換設備后的銜接成本。未來，隨著各行業對真空設備的需求持續升級，貼合工況痛點、兼顧價值與實用性的設備，將更易獲得市場認可。