日本MEG對齊單元

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對齊單元X9106-MO23DB 產品特點如下：

日本MEG對齊單元X9106-MO23DB用于半導體設備、液晶面板制造、精密組裝線等需要亞微米級定位的場景，高精度對齊單元,專注于高精度工業(yè)自動化組件，如對齊單元、傳感器和定位系統(tǒng).

可靈活應對多品種工件的長沖程和高速定位所需的長壽命對準單元，在半導體及電子零件行業(yè)中被用于工件定位，取得了很多實績。穩(wěn)定的定位性能以緊湊但長行程重復精度高的凸輪為基礎，鉚釘采用無背襯機構，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可穩(wěn)定定位050的身體內收納4個無限軌道型線性導軌，并且到極限省略浪費6mm的長沖程成為可能。

適用于從微芯片到帶端子芯片的廣泛用途，無沖擊工作通過使用長壽命凸輪曲線變形等速度曲線的凸輪和步進電機的加減速控制，即使在高速情況下也能實現(xiàn)柔和的定位，無限軌道線性導軌的靈活操作和凸輪的簡單機制確保了長期的初始位置精度，α STEP馬達的追加外部驅動采用實現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP DC電源類型。

因為是用步進馬達驅動，所以指甲的進給量可以根據(jù)工件進行設定，手指導軌采用預壓的線性導軌，實現(xiàn)了高的重復精度，可以利用馬達后部的旋轉軸安裝原點傳感器和限位傳感器，也可以方便地作為機械調整時的手動手柄使用，帶馬達的型號有2相馬達和α STEP馬達兩種可選，相馬達已更新，可以設置高分辨率。

核心功能

1.精密定位：

通過內置高分辨率傳感器（如激光或光學編碼器）實現(xiàn)微米級（μm）或納米級（nm）的位置對齊。

適用于晶圓、面板、精密零件的對準與校正。

2.多軸控制：

支持X/Y/Z軸或θ（旋轉軸）的多自由度調整，集成運動控制算法。

3.自動化集成：

兼容PLC、工業(yè)機器人或上位機系統(tǒng)，支持標準通信協(xié)議（如EtherCAT、RS-485等）。

典型應用場景

半導體封裝：晶圓與掩模版的對齊。

FPD制造：液晶面板的精準貼合。

精密檢測：配合顯微鏡或CCD進行自動對焦定位。

優(yōu)勢

高剛性設計：減少振動帶來的誤差。

快速響應：優(yōu)化算法提升對齊速度。

模塊化：可擴展為多單元協(xié)同工作。

技術參數(shù)

精度：±0.1 μm 或更高

重復定位精度：±0.05 μm

負載能力：1-5 kg（依賴機械結構設計）

傳感器類型：光學編碼器/激光干涉儀

環(huán)境適應性：防塵、防振動設計，適合潔凈室使用。

規(guī)格

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